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GT40A模型已利用平板印刷工具測試認證

2005-05-09 00:00 來源：中國激光網 責編：中華印刷包裝網

半導體行業的光源制造商Gigaphoton公司，宣布了一種新的氟化氬（ArF）準分子激光器――GT40A（發射波長193nm，重復率為4kHz）。這個新模型已經利用平板印刷工具在荷蘭Veldhoven的ASML被綜合測試和認證。

    在如今的先進平板印刷方法中，隨著LSI電路模型的優化，浸入式ArF平板印刷術已經成為主流，將成為最有保證的下一代技術。作為浸入式ArF平板印刷術的光源――ArF激光器來說，高的產量水平和穩定的光譜性能是最基本的要求。

    GT40A在Gigaphoton的日本總部進行的性能測試表明，它具有穩定的高性能，低的運行成本，而且有著前所未有的可靠性和長的可用時間――所有這些特點足以滿足大量生產的平板印刷程序的需求。
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